氮化硅陶瓷生产过程与设备

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氮化硅陶瓷生产过程与设备氮化硅制品、氮化硅陶瓷的制备技术在过去几年发展很快,制备工艺主要集中在反应烧结法、热压烧结法和常压烧结法、气压烧结法等类型.由于制备工艺不同,各类型氮化硅陶瓷具有不同的微观结构如孔隙度和孔隙形貌、晶粒形貌、晶间形貌以及晶间第二相含量等.因而各项性能差别很大.要得到性能优良的陶瓷材料,首先应制备高质量的粉末.用不同方法制备的粉质量不完全相同,这导致了其在用途上的差异,许多陶瓷材料应用的失败,往往归咎于开发者不了解各种陶瓷粉末之间的差别,对其性质认识不足.一般来说,高质量的粉应具有α相含量高,成均匀,杂质少且在陶瓷中分布均匀,粒径小且粒度分布窄及分散性好等特性.好的粉中α相至少应占,这是由于在烧结过程中,部分α相会转变成β相,而没有足够的α相含量,会降低陶瓷材料的强度.反应烧结法是采用一般成型法,先将硅粉压制成所需形状的生坯,放入氮化炉经预氮化部分氮化烧结处理,预氮化后的生坯已具有一定的强度,可以进。

氮化硅陶瓷生产过程与设备摘要：为解决高精度氮化硅陶瓷球批量研磨加工的问题，将超精密研磨技术应用到氮化硅陶瓷球的加工实验中。开展了研磨过程的分析，建立了不同研磨阶段陶瓷球球度、表面质量及材料去除率与所选不同大小粒度磨料之间的关系，并提出了对比分析的方法，在通过专业设备检测的基础上对成品球球度、表面粗糙度和振动值进行了。研究结果表明，氮化硅陶瓷球能够批量生产且球度达到．以下，表面粗糙度达到．以下，振动值达到以下，实现了批量生产级氮化硅陶瓷球的目的。

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