多晶硅的硅粉加工

多晶硅的硅粉加工导出本发明涉及的一种用于制作化学气相反应沉积生长多晶硅的硅芯专用金刚石外圆切割机及其加工方法。属新能源及新材料技术领域。本发明将多晶硅棒料安装固定在金刚石外圆切割机中，同时对多根多晶硅棒料进行切割制取硅芯，先将多晶硅棒料切割成多晶硅片料，再将多晶硅片料切割成条状硅芯，切割完毕，可以同时得到多根硅芯。采用本发明提供的硅芯制备方法其生产效率明显高于其它制备方法，且在整个切割过程中，所用切割冷却液为自来水或脱盐水，不需要专门配制切割浆料，将切割冷却液经简单处理后进行循环使用，整个生产过程产生的废物仅为硅渣，不会对环境产生不利影响。主权项：一种用于制作化学气相沉积生长多晶硅的硅芯专用切割设备，其特征在于专用切割设备的加工物件平台底部开有排水口，加工物件平台上部一端装有两组四个金刚石刀架及一个放置于四个金刚石刀架的上部且能随刀架移动而自由伸缩的伸缩防护罩，每个金刚石刀架上各装一组共块金刚石外圆切割片，其中。

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